Vakuumspannplatte für Wafer, wafer chucks Suchwörter www.vacuum-guide.com
Vakuumsysteme für die Halbleiterindustrie Vakuum-Komponenten America Asia Pacific Europe
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ATT Advanced Temperature Test Systems ATT Advanced Temperature Test Systems GmbH
- Fraunhoferstr. 11, 82152 München-Martinsried, Deutschland

Markus Eibl, email, Tel.
Produkte: Haltevorrichtungen und Waferchucks für die Halbleiterindustrie



Berliner Glas Berliner Glas KGaA, Herbert Kubatz GmbH & Co. - www.berlinerglas.de
- Waldkraiburger Strasse 5, 12347 Berlin, Deutschland

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Berliner Glas unterstützt Unternehmen der Halbleiterindustrie mit innovativen Vakuum Chuck Lösungen und elektrostatischen Chucks (ESC) mit Ansteuerung für verschiedenste anspruchsvolle Bearbeitungsschritte. 		Produkte: Elektrostatischer Chuck, Vakuum Chuck
  • Chucks für Wafer bis zu 450mm (18inch), Chucks für Masken (Reticle), Kundenspezifische Formate bis 400x500 mm²
  • Ein- oder beidseitiges Clampen, Genaues Temperieren bis auf wenige mK, Integrierte Heiz- und Kühlfunktion (optional)
  • Hybrid-Chucks (ESC & Vakuum-Chuck kombiniert), Große Bandbreite funktionaler Oberflächenbeschichtungen


hc starck wafer chucks H.C. Starck GmbH - www.hcstarck.com
- Im Schleeke 78-91, 38642 Goslar, Deutschland

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H.C. Starck Ceramics, das auf technische Keramiken spezialisierte Unternehmen der H.C. Starck Gruppe, ist ein führender Hersteller von Keramikkomponenten und besitzt langjährige Erfahrung in der Produktentwicklung und -herstellung, insbesondere für die Mikroelektronikindustrie. 		Produkte: Elektrostatische Einspannvorrichtung für Si-Wafer

Materialien und Komponenten für die Halbleiterproduktion:
  • Wir bieten eine einzigartige und umfassende Produktpalette an Keramiken auf Aluminiumoxid-, Zirkoniumoxid-, Siliziumnitrid- und Siliziumcarbidbasis an.
  • Wir verfügen über die notwendigen Ressourcen, um komplexe kundenspezifische Komponenten mit hoher Präzision herzustellen und geschützte Herstellungsverfahren einzusetzen.
  • Wir sind zugelassener Lieferant von Ausrüstung für die 300 mm Produktionslinie und die 450 mm Pilotlinie.


Witte Barskamp Witte Barskamp KG - www.witte-barskamp.de
- Horndorfer Weg 26-28, 21354 Bleckede, Deutschland

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Witte gilt als eines der führenden Industrieunternehmen im Bereich modulare Vorrichtungssysteme. Mit dem Baukastensystem Alufix sowie den vielfältig einsetzbaren Vakuum-Spannsystemen gilt Witte weltweit als Marktführer. 		Produkte: Wafer-Chucks für die Halbleiterindustrie

Auf den Vakuum-Chucks werden die Wafer beschädigungsfrei gehalten. Die Spannfläche besteht aus einem mikroporösen Material (u.a. Reinraum Klasse 10 tauglich); bedingt durch die Mikrostruktur werden sehr dünne Materialien absolut plan und beschädigungsfrei fixiert. Es können Ebenheiten und Planparallelitäten unter 5µm erreicht werden. Anschlag-Pins, die aus der Platte herausgezogen werden können, erleichtern das Platzieren der Wafer innerhalb des erforderlichen Spannbereichs. Abdecken freier Oberflächen, das bei vielen Vakuum-Systemen unbedingt erforderlich ist, ist hierbei nicht nötig. Nach erfolgter Bearbeitung werden die Wafer durch druckluftgesteuerte Liftings-Pins mit integrierter Bremsmechanik "sanft" angehoben und können mit einem Endeffektor entnommen werden

 

 

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